イオン窒化システム
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- メーカー(モデル名)：Dada Korea
- スクリーンイオン窒化チャンバーの容量：572 L
- チャンバー加熱温度：Max 500 ℃
- スクリーンイオン窒化チャンバーの容量：572 L
- チャンバー加熱温度：Max 500 ℃
Vacuum range：Max 1 ✕ 10-9 Torr
- SCADAモニタリングプログラムを使用
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